洁净室中的温湿度控制:
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,食品净化车间,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。
GMP车间净化公司建造的车间是一个多功能的综合整体。首先需要多专业配合——建筑、电气、空调、净化、纯水、纯气等。还要对其他诸多参数进行控制,净化车间,例如:空气洁净度、压力、噪声、照度等。净化车间装修过程中,临沂净化车间,只有GMP车间净化公司的专业人员综合协调各个专业内容之间的配合,才能达到净化车间所需要的餐食要求,所以净化车间建设过程非常重要,GMP车间净化公司在建设车间的时候,一定要注意一些基本原则事项,保证车间顺利的完成。
通风工程是无尘车间公司在建设洁净车间时必须重点考虑的问题,通风机的工作原理与透平压缩机基本相同,无尘净化车间,只是由于气体流速较低,压力变化不大,一般不需要考虑气体比容的变化,即把气体作为不可压缩流体处理。
公司承接全国各地各种行业洁净厂房、空气净化工程、制药车间、无尘净化室、生物工程、洁净手术室、无菌实验室、装配车间、提取车间、灌装车间的设计及安装。 可承建十万级、万级、千级、到百级的各类GMP净化工程。