山东晴朗净化科技有限公司

潍坊车间-晴朗净化(在线咨询)-无菌车间

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  • 主营产品:净化工程,无尘车间,净化车间,无菌室
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洁净室中的温湿度控制:

    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,洁净车间施工,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,无尘车间施工,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

    具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

    湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。








  净化工程一般是建设洁净室的工程,洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础,潍坊车间,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。

    公司承接全国各地各种行业洁净厂房、空气净化工程、制药车间、无尘净化室、生物工程、洁净手术室、无菌实验室、装配车间、提取车间、灌装车间的设计及安装。 可承建十万级、万级、千级、到百级的各类GMP净化工程。


    洁净室的划分是以单位体积内所含灰尘数来计算的,数目越小表示洁净等级越高,一般每一级的划分都有不同直径灰尘数的要求,比如一般药厂、汽车4s店,十万级或万级就够了,但这对电子行业(尤其是微电子行业)仅仅是di要求,比如半导体行业等级要求di的测试间一般都不能高于1万级,但对于洁净要求严格的如光刻间,基本上都是百级,无菌车间,甚至十级的。但要注意,由于灰尘无处不在,所以jue对的0级是不可能存在的。


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