电子光学无尘车间恒温恒湿控制精度高由于电子产品的制造工艺对温、湿度变化极为敏感，所以在洁净室工艺区域的空气参数须严格控制在的范围内。洁净空调系统目前普遍采用了控制灵活、性能可靠的直接数字控制系统，当室内空气参数达不到设计要求时，可通过DDC控制系统来自动调节各阀门开大或关小。这样就不至于使房间温、湿度波动太大，影响产品质量和成品率。
为了保持洁净室内的环境，增加洁净室内的有效空间，各种管道的干管均应尽量敷设在技术夹层或技术夹道内，引入洁净室内的管道支管、各种物料管道宜明设，便于拆洗、消毒等。
穿过洁净室的楼板和墙壁时应设套管，套管内不得有接头，管子与套管之间必须用不燃和不产尘的材料密封，如自熄聚本乙烯等不燃塑料，套管端头用法兰罩封严。
百级无尘室建筑方式可分为土建结构和装配式两种，其中普遍采用装配式。装配式百级无尘室洁净系统主要由静压箱，过滤器，铝合金扩散板，标准法兰接口等组成，造型美观，结构简单，使用可靠。 如送风口为下装式，具有在洁净室内安装和更换过滤器方便的优点，过滤器采用机械压紧或液槽密封装置，确保风口安装无泄露，密封可靠，净化效果好.动力及照明系统；工作环境参数的监测报警消防和通讯系统；物流系统；工艺管路系统。
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