山东晴朗净化科技有限公司

    洁净室的划分是以单位体积内所含灰尘数来计算的，数目越小表示洁净等级越高，一般每一级的划分都有不同直径灰尘数的要求，比如一般药厂、汽车4s店，十万级或万级就够了，但这对电子行业（尤其是微电子行业）仅仅是di要求，比如半导体行业等级要求di的测试间一般都不能高于1万级，但对于洁净要求严格的如光刻间，基本上都是百级，甚至十级的。但要注意，由于灰尘无处不在，所以jue对的0级是不可能存在的。

企业视频展播，请点击播放

视频作者：山东晴朗净化科技有限公司

洁净室中的温湿度控制：

    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

    具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

    湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。

    在电子生产车间中，随着人的进进出出，往往会带进很多的灰尘颗粒，而高精密度的电子元器件，对于环境的要求特别的高，生产出来的电子元器件的质量往往跟空气中的悬浮灰尘颗粒有很大关系，所以在电子生产车间往往都要建设为无尘车间，保证空气中的悬浮颗粒的数量以保证电子元器件的高质量，无尘车间设备中的负离子净化空气系统能降低空气中的悬浮颗粒物的浓度，让电子生产环境更加的干净。