由于技术原因和制造工序的复杂程度高,集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增,对于空气洁净度的要求也越来越高,重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造,药品,医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级,远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。
集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关,洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节,属于生产辅助性工程,直接和投资相关,不受限于技术瓶颈,即使我国在制造工艺上尚存在差距,但是洁净室工程行业不受影响,获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。
下面,举个例子吧:该项目位于某某电子公司,无尘车间净化面积110m²,净化级别为1万级,设计吊顶天花为2.8m。设计依据:《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001);《采暖通风与空气调节设计规范》(GBJ19-87);《通风与空调工程施工及验收规范》(GB50243-97);《洁净室施工及验收规范》(GB50041-92);某某电子公司提供的工艺平面布置图等有关技术参数要求;