无尘车间、洁净车间、净化车间被定为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则操作程序以制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
1、净化车间系统
室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数;
2、洁净度与制换气次数
房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑车间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数;
3、人和物的控制
人和物是洁净室的尘源,因此必须充分控制,例如:在进入净化房前,所有的人都要经过人净系统,更换无尘衣,并且要接受净化系统功能的基本教育;
无尘净化车间亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为各国在科技发展上极为重视的项目。净化车间对无尘干净这方面要求非常高。
无尘车间设备如何选择、布置与保养:
a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。
b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
d.规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
e.真空泵等容易产生污染物的这类设备,应设置在无尘车间外面或回风区,并加装排气管线排气。
f.设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
g.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。