下面,举个例子吧:该项目位于某某电子公司,无尘车间净化面积110m²,净化级别为1万级,设计吊顶天花为2.8m。设计依据:《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001);《采暖通风与空气调节设计规范》(GBJ19-87);《通风与空调工程施工及验收规范》(GB50243-97);《洁净室施工及验收规范》(GB50041-92);某某电子公司提供的工艺平面布置图等有关技术参数要求;
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为各国在科技发展上极为重视的项目。净化车间工程被广泛应用在食品车间、电子车间等有净化需求的地方,以用来保障车间的环境质量;洁净工程的施工流程是在前期和客户进行沟通、看现场,根据前期的考察作出初步的设计方案,方案确定后签合同并进行施工,之后调试、验收和维护即可。
和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。