为了达到洁净室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作安全等，在洁净室的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统（含特种气体供应等）及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。
净化方案一：组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口：这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二：水冷柜机+增压风柜+高效送风口：与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
照明、配电：洁净车间（1万级）用明装净室带罩防尘灯40WX2。工作区照度＞250Lux, 走道照度＞100Lux,有精细加工操作区域可采用局部照明。布线按国家规范执行，用穿线钢管暗敷，符合防火及用电规范。所有管线穿过洁净区域均做好密封，线管线槽的内孔（内槽）应全密封。进入净房的气管、水管也须做密封，能设置在顶棚上走的管道，设置在顶棚上，使车间整洁干净。所有动力配电及插座由甲方负责。净化空调系统控制箱由设计方负责。照明、配电按国家有关规范及甲方要求，设计及制作，满足生产及管理对设备运行及控制的要求。
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