洁净室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度，是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰，而完成这些功能的系统设备就是构成洁净室的主体：内装（吊顶、墙板）、DCC、 MAU、FFU。方案特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
洁净系统方案：系统流程：新风经过滤后与回风混合，进入风冷空调机，通过中效过滤器，经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织：1万级间全部采用上送两侧回风，车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道，接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤，以确保空气的含尘浓度较低，减少外部尘源影响，提高洁净室的净化效果，并大大延长高效过滤器的使用寿命，减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量＞35m³/h)，并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风：有设备排风及工艺要求的房间排风，此系统由甲方确定方案。
由于技术原因和制造工序的复杂程度高，集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增，对于空气洁净度的要求也越来越高，重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造，药品，医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级，远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步，集成电路对洁净度的要求越来越高。
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