光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为各国在科技发展上极为重视的项目。净化车间工程被广泛应用在食品车间、电子车间等有净化需求的地方,以用来保障车间的环境质量;洁净工程的施工流程是在前期和客户进行沟通、看现场,根据前期的考察作出初步的设计方案,方案确定后签合同并进行施工,之后调试、验收和维护即可。
设计条件(设计参数):洁净车间温度要求20℃~25℃;湿度要求45%~65%;洁净要求10000级。厂房平面布置:空调末端采用高效过滤器;洁净空调机设在模条房,楼板承重必须符合设备运行负荷要求。a、洁净区域:洁净车间洁净度1万级面积约110m²;洁净前区设人员换鞋区、更衣室、风淋室等,隔离外界污染。洁净区人员流动方向:换鞋、一次更衣---风淋室---洁净车间。在净化车间设安全门,便於人员疏散。(进入风淋室前需作一道空气过滤)洁净区物料流动方向:传递窗---洁净车间---传递窗---其它工序;b、其它区域:由甲方自行负责,不在本设计方案范围内。
冷冻站配置:制冷主机:按照甲方要求,将空调系统分区1个,则空调主机设计为1台,采用风冷恒温恒湿型空调机,风量:12000m³/h,冷量34KW,热量36KW。冷源容量配置方案:洁净车间设计冷负荷34KW,采用风冷恒温恒湿型空调机15匹,制冷量为34KW,满足要求。方案综合考虑空调系统实际运行的特点,不但有足够的装机容量,又能保证洁净厂房连续、可靠运行,而且一次投资节约及运行经济。风管及保温:净化空调系统风道采用镀锌板制作,并按规范进行密封处理。除新风及排风管道外,所有风管均需保温。保温材料用铝箔玻璃棉毡/玻璃棉管:厚度40mm,24K,其导热系数:0.03kcal/mh℃以下,冷水管:50mm/56K保温棉。