由于技术原因和制造工序的复杂程度高,集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增,对于空气洁净度的要求也越来越高,重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造,药品,医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级,远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。
电子/线路板制造是一种高度精密化的工业,一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量,因此制造过程均要求在严格控制下的洁净室中操作。洁净室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在,并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。电子/线路板芯片制备到器件封装,对生产环境空气品质都有较高的要求,空气品质关系着成品率和产品品质。
方案特点:A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。光学微电子净化工程一般包括:1、 洁净生产区;2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)