山东晴朗净化科技有限公司

我国新型显示投资近年来大幅增长，已经投资和计划投资总额累计均超过万亿，直接带动了洁净室工程行业的需求。电子工程的建设是要为电子产品的生产提供可靠的环境条件，生产环境与电子产品生产有着密切的关系，合适的生产环境，可以提高产品的性能、成品率及可靠性，否则会对产品生产造成较大的影响。LED/液晶/线路板制造是一种高度精密化的工业，一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量，因此制造过程均要求在严格控制下的洁净室中操作。洁净室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在，并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。

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视频作者：山东晴朗净化科技有限公司

和其他产业不同，集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成，从单晶硅片制造，到IC制造的几乎所有环节，到IC封装都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。如，14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，直接决定了终产品的成败。

洁净系统方案：系统流程：新风经过滤后与回风混合，进入风冷空调机，通过中效过滤器，经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织：1万级间全部采用上送两侧回风，车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道，接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤，以确保空气的含尘浓度较低，减少外部尘源影响，提高洁净室的净化效果，并大大延长高效过滤器的使用寿命，减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量＞35m³/h)，并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风：有设备排风及工艺要求的房间排风，此系统由甲方确定方案。