洁净厂房内大型配电屏、配电箱一般不应设在洁净区内，而安装在技术夹层、技术夹道内或配电房内，电气线路的接线盒或拉线盒应安装在洁净室毗邻的对洁净度无要求或要求相对较低的区域。
洁净度要求严格的洁净厂房，洁净室的上下部设置技术夹层，此时下部技术夹层可用作回风静压室。敷设的静压室内的管线、电缆、母线安装敷设前要事先进行清洁处理，并便于日常清洁。
为了保持洁净室内的环境，增加洁净室内的有效空间，各种管道的干管均应尽量敷设在技术夹层或技术夹道内，引入洁净室内的管道支管、各种物料管道宜明设，便于拆洗、消毒等。
穿过洁净室的楼板和墙壁时应设套管，套管内不得有接头，管子与套管之间必须用不燃和不产尘的材料密封，如自熄聚本乙烯等不燃塑料，套管端头用法兰罩封严。
无尘净化车间亦名无尘室或清净室，目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为各国在科技发展上极为重视的项目。净化车间对无尘干净这方面要求非常高。
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