净化方案一:组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口:这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二:水冷柜机+增压风柜+高效送风口:与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关,洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节,属于生产辅助性工程,直接和投资相关,不受限于技术瓶颈,即使我国在制造工艺上尚存在差距,但是洁净室工程行业不受影响,获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。
设计条件(设计参数):洁净车间温度要求20℃~25℃;湿度要求45%~65%;洁净要求10000级。厂房平面布置:空调末端采用高效过滤器;洁净空调机设在模条房,楼板承重必须符合设备运行负荷要求。a、洁净区域:洁净车间洁净度1万级面积约110m²;洁净前区设人员换鞋区、更衣室、风淋室等,隔离外界污染。洁净区人员流动方向:换鞋、一次更衣---风淋室---洁净车间。在净化车间设安全门,便於人员疏散。(进入风淋室前需作一道空气过滤)洁净区物料流动方向:传递窗---洁净车间---传递窗---其它工序;b、其它区域:由甲方自行负责,不在本设计方案范围内。