山东晴朗净化科技有限公司

净化车间的空气净化系统要注意什么？山东净化车间空气洁净系统由风淋室、气闸室、传递窗、层流罩、洁净工作台、FFU及生物安全柜等设备组成，其安装要求应按设备技术文件进行；安装设备的地面应平整，环境清洁，设备安装前应擦去内外表面的尘土和油污，设备经检验合格后应立即安装，尽快完工；设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平并有防移位措施，机械式余压阀的安装，阀体、阀板的转轴均应水平，允许偏差为2/1000,余压阀的安装位置应在室内气流的下风侧，并不应在工作面高度范围内。

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视频作者：山东晴朗净化科技有限公司

风淋室是人身净化设备，在风淋室内采用高速、洁净的空气射流，吹落进入洁净室内人员的服装表面附着的尘埃，对进入洁净室内的工作人员的面及全身服装进行外表净化的重要措施；进入风淋室的两扇门是互锁的，互锁有机械方式和电气方式两种，可防止污染空气进入洁净室，从而兼起气闸作用；由顶箱、内外门侧箱、底座、风机、电加热器、高效过滤器、喷嘴、回风口、预滤器及电器控制元件等组成；风淋室内球状缩口型喷嘴使吹出的气流均匀，并可以进行调整，以使喷嘴射出的气流从两侧沿切线方向吹到全身，保证吹淋效果，吹淋的风速在25-35m/s之间，喷嘴的气流吹淋角度，其顶部向下20°，两侧水平相错10°、向下10°。

洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。