为了达到洁净室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作安全等，在洁净室的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统（含特种气体供应等）及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。
送风过滤设备：高效送风口选用不锈钢结构，漂亮清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，易清洁；送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温棉；5、高效过滤器设备前，有必要对洁净室进行悉数清扫、擦净，净化空调系统内部如有积尘，应再次清扫、擦净，到达清洁需要。如在技术夹层或吊顶内设备高效过滤器，则技术层或吊顶内也应进行悉数清扫、擦净。
净化方案一：组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口：这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二：水冷柜机+增压风柜+高效送风口：与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
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