洁净室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度,是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰,而完成这些功能的系统设备就是构成洁净室的主体:内装(吊顶、墙板)、DCC、 MAU、FFU。方案特点:A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
电子科学技术的不断发展,促使电子产品更新换代速度逐步加快,电子产品生命周期越来越短。不同技术阶段和不同类型的电子产品对其生产厂房的布局、构造等要求差异较大.厂房需随技术升级同步更新;同时,电子产品生产基础建设投入规模巨大,因此市场前景广阔。经过几十年的建设及发展,我国洁净产业已具有相当规模,其中不少产品技术都已达到国际水平。世界半导体贸易组织统计数据显示,我国目前已经成为一大电子产品生产和消费国。
和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。