洁净室施工可以分为6个子系统，总体能分为洁净系统和机电系统，分别占洁净室工程的50%，50%。洁净室施工需要具备较强的基础和技术实力，属于技术密集型，毛利相对较高。对于集成电路项目和新型显示项目，一般来说，洁净室施工占总投资比例10%-15%，土建施工占总投资比例6-10%。总投资中70-80%投入到固定资产，固定资产中20-30%投入到厂房建设中，厂房建设可以分为3个部分，工程设计、土建施工、洁净室施工，其分别占的比例为2-7%，30-40%，50-70%。
由于技术原因和制造工序的复杂程度高，集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增，对于空气洁净度的要求也越来越高，重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造，药品，医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级，远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步，集成电路对洁净度的要求越来越高。
送风过滤设备：高效送风口选用不锈钢结构，漂亮清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，易清洁；送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温棉；5、高效过滤器设备前，有必要对洁净室进行悉数清扫、擦净，净化空调系统内部如有积尘，应再次清扫、擦净，到达清洁需要。如在技术夹层或吊顶内设备高效过滤器，则技术层或吊顶内也应进行悉数清扫、擦净。
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