山东晴朗净化科技有限公司

铜陵医院净化车间设计

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  • 主营产品:净化工程,无尘车间,净化车间,无菌室
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和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。

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视频作者:山东晴朗净化科技有限公司









冷冻站配置:制冷主机:按照甲方要求,将空调系统分区1个,则空调主机设计为1台,采用风冷恒温恒湿型空调机,风量:12000m³/h,冷量34KW,热量36KW。冷源容量配置方案:洁净车间设计冷负荷34KW,采用风冷恒温恒湿型空调机15匹,制冷量为34KW,满足要求。方案综合考虑空调系统实际运行的特点,不但有足够的装机容量,又能保证洁净厂房连续、可靠运行,而且一次投资节约及运行经济。风管及保温:净化空调系统风道采用镀锌板制作,并按规范进行密封处理。除新风及排风管道外,所有风管均需保温。保温材料用铝箔玻璃棉毡/玻璃棉管:厚度40mm,24K,其导热系数:0.03kcal/mh℃以下,冷水管:50mm/56K保温棉。

由于技术原因和制造工序的复杂程度高,集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增,对于空气洁净度的要求也越来越高,重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造,药品,医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级,远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。